一：调试前准备工作
1.1 机台卫生
1.1.1 准备工具
无尘布（4 包 / 台）、无尘纸（2 包 / 台）、酒精（3 瓶 / 台）、一次性鞋套（10 双 / 台）、小车载吸尘器、缠绕膜、至少 30KG 以上量程秤。
1.1.2 机台外部卫生
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使用无尘布浸润酒精，对机台顶部卫生进行清洁擦拭。
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戴好手套，去除机台盖板、轨道护板、分流板保护膜。
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去除门窗、机台主体、自动化部件等保护膜。
1.1.3 机台内部卫生
- 套上一次性鞋套，进入机台，使用无尘布浸润酒精擦拭机台内顶部。
- 使用无尘布浸润酒精擦拭机台内侧壁，抽风口，孔洞。
- 依次擦拭机械臂横杆顶部、下部、勾爪勾点、侧壁。
- 依次擦拭槽盖、槽壁、槽底部。擦拭过程中确认循环管方向（上料口↙↓下料口）鼓泡管方向（上料口←→下料口），接口是否拧紧，管路是否平整，有无破损。
1.1.4 机台自动化卫生
无尘布浸润酒精、擦拭机台上、下料台、自动抓手、翻转装置等。
二：槽式机
2.1 机台确认
2.1.1 纯水压槽
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将纯水管路通过波纹管直连接入排废管排放，使用烧杯每隔半小时监控进水杂质情况，待确认无杂质及厂务送水电阻率稳定后，接入主机台，机台显示电阻率需≥16.5MΩ*cm。
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主机台供气后拆开机台顶部供气管道，对压缩空气/氮气进行排放30min，使用无尘布包裹出气口检查压缩空气洁净度是否达标。
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将槽内纯水加满，打开泵循环，检查槽体管道是否漏液；槽装满水静置12h，保证槽体承重后形变稳固。
2.1.2 槽体液位确认
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使用大体积塑胶桶注入指定重量纯水。
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将步骤1中指定的纯水量多次加入，需确认槽内至一定液位，记录加水次数及槽内液位。
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对比实际液位、显示液位与实际加入水量是否一致，如不一致需对液位标识及系统内对应系数进行校正，校正后重复1-3步骤，直至一致，数据记录。
2.1.3 CDS确认
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确认CDS信号及功能正常。
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手动加满需确认的恒压罐药液，手动设定药液补回量，将恒压罐出液管取出放入适量的烧杯内，点击"手动补液"，将设定量的液体加入烧杯内，对比烧杯内药液体积与设定补液体积是否一致（误差控制在1%以内），如不一致，需对液位标识及系统内对应系数进行校正，校正后重复4-7步骤，直至一致，数据记录。
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冷热水流量计校准（误差控制在5%以内）、热水机水箱清洗。
2.1.4 软件确认
确认机台有无补液记录，配方显示是否正常，液位显示，机台设置参数等是否正常，如有异常联系厂商软件工程师修复。
2.2 槽体清洗
2.2.1 化学品准备
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双氧水（制绒:72L,碱抛:72L,RCA:80L）
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盐酸（制绒:72L,碱抛:72L,RCA:80L）
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酸洗剂（制绒140L,碱抛140L,RCA160L）
2.2.2 洗槽
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机台管道首次放水：纯水电阻率正常后，每槽循环加/放水不少于四次，确认进水管及阀门是否正常运行。
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机台内部冲洗：使用水枪对机台内除烘干槽区域外其他各处进行冲洗。
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穿戴好劳保用品，对所有液体槽使用500ml的洗洁精进行泡槽，槽满后再手动补入20L，水位覆盖溢流孔，泡槽循环12H。
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排空所有液体槽，加水循环清洗2次。
2.2.3 泡槽
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槽体加水，手动补加盐酸、双氧水、氢氧化钠、氢氟酸各50L润洗化学品管道，然后排放并进行槽体清洗1次。
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泡槽前槽体加入一半纯水，穿戴好劳保用品，向各槽分别按泡槽配方添加H₂O₂、HCL。
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对所有添加剂副槽、溢流副槽加纯水和8L双氧水、8L盐酸浸泡。
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将所有已添加好相应化学品的槽体，自动补满水，手动开启循环、鼓泡，开始泡槽，再次观察液位位置变化及是否存在漏液情况，槽满后再手动补入20L，水位覆盖溢流孔，泡槽24H。
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泡槽完成后，排空所有槽液，加水循环清洗2次，手补添加剂润洗管道。
2.3 工艺调试
2.3.1 配方导入
分别导入饱和花篮配方，正常生产配方。
2.3.2 花篮饱和
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清洗花篮配方循环洗花篮不少于3轮（饱和花篮前生产需用酒精对花篮擦拭一轮）。
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机台结束饱和后，排液加水循环清洗1次，穿戴好劳保用品，向各槽分别倒入10L酸洗剂，泡槽2H，泡槽完毕后洗槽2次，洗槽时加入化学品润槽。
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制绒/碱抛正常生产配液，将待验证花篮中均匀插入4片原始硅片，放入机台正常制绒/碱抛，要求无花篮印及其他外观问题。
2.3.3 首片验证
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验证合格的花篮插入120pcs原硅片，进行制绒机台验证，要求制绒后减重、反射率在控制范围内，外观无肉眼可见异常。
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BSG正常配液运行后，将氧化后硅片放入BSG内，完成工艺后取出，测试背面疏水性及观察外观，要求背面整体疏水，外观无肉眼可见异常。
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碱抛正常配液运行后，使用PSG后硅片120pcs,进行碱抛机台验证，要求碱抛后减重、反射率在控制范围内，外观及PL图像无异常。
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PSG及RCA正常配液运行后，将退火后硅片120pcs进行RCA机台验证，要求RCA后减重在控制范围内，外观及PL图像无异常。
三：链式机
3.1 细节差异
3.1.1 水膜确认
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手动开启水膜，确认水针垂直、无堵塞。
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用洁净调试片测试水膜效果，以及亲水性。
3.1.2 滚轴水平、水风水运行确认
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用经清洗过的洁净调试片测试（每道1片）滚轴水平。
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确认风水刀流量和角度。
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硅片不走歪、不叠片卡片，经风刀吹过后表面无液体残留，若叠片卡片走歪、硅片表面有药液残留通知设备处理。
3.2 交付标准
3.2.1 首件确认
BSG/PSG正常配液运行后，将氧化后硅片放入PSG内，完成工艺后取出，测试背面疏水性及观察外观，要求背面整体疏水，外观无肉眼可见异常。
